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            英国爱德华真空泵
          爱德华罗茨泵EH系列
               详细描述:

          爱德华真空泵/EDWARDS真空泵/爱德华罗茨真空泵

          EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为0.0110 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

          机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

          应用

          ·                                半导体制程

          ·                                真空蒸馏

          ·                                真空包装

          ·                                钢脱气

          ·                                薄膜覆层

          ·                                真空冶金

          ·                                低密度风洞

          ·                                空间模拟

          ·                                真空浸渍

          ·                                油干燥和脱气

          ·                                制药冷冻干燥

          ·                                CO2激光

          功能和优势

          ·                                适用于在0.0150 mbar/0.007537.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。

          ·                                它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

          ·                                EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

          ·                                                       o   安静的无振动运行。

          ·                                                       o   牢靠且防腐蚀。

          ·                                                       o   先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

          ·                                防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

          ·                                经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

          ·                                轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

          ·                                动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

           

          技术数据

           型号

          EH250

          EH500

          EH1200

          EH2600

          EH4200

          排量(工作容积)

          310 m3h-1/ 185 ft3min-1

          505 m3h-1/ 300 ft3min-1

          1195 m3h-1/ 715 ft3min-1

          2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1

          4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1

          使用前级泵时的有效抽速

          240 m3h-1/ 141 ft3min-1

          350 m3h-1/ 206 ft3min-1

          840 m3h-1/ 495 ft3min-1

          1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1

          3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1

          泵的压力差

          0-180 mbar/0-140 Torr

          0-110 mbar/0-83 Torr

          0-90 mbar/0-68 Torr

          0-80 mbar/0-60 Torr

          0-60 mbar / 0-45 Torr

          进气口连接

          ISO63

          ISO100

          ISO160

          ISO160

          ISO250

          出口连接

          ISO40

          ISO63

          ISO100

          ISO100

          ISO100

          转速

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          连续进气口工作压力

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          最大出口压力

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          推荐的前级泵

          GV80E1M/E2M40E1M/E2M80

          GV80E2M80

          GV160GV250
          E2M80
          E2M175

          GV250GV400
          E2M175
          E2M275

          GV400E2M275

          电机功率

           

           

           

           

           

          碳氢化合物

          2.2 kW / 3 hp

          2.2 kW/3 hp

          3 kW/4 hp

          11 kW/15 hp

          11 kW/15 hp

          PFPE

          1.5 kW / 2 hp

          1.5 kW/2 hp

          3 kW/4 hp

          7.5 kW/10 hp

          11 kW/15 hp

          ATEX

          2.2 kW

          2.2 kW

          3 kW

          11 kW

          11 kW

           

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